製造業経営コンサルタントの井上です。
今回は、半導体製造装置メーカーの各工程別の決算情報を初めてとして、一覧で把握していきたい。
ツィートをここでも共有していきます。
では見ていきましょう。

半導体製造装置メーカー|マスク製造工程 (2022年度 決算情報)

半導体製造のフォトマスク製造工程は?
半導体製造装置のマスク製造工程は、フォトマスク作成、フォトマスク検査、フォトマスク修理の3つに分けて説明することができます。
フォトマスク作成工程では、半導体チップのパターンを転写するためのマスクを作成します。マスクは、ガラス基板上にレジストを塗布し、レジストを露光、現像、硬化することで作られます。露光では、光をマスクに透過させ、レジストにパターンを写し取ります。現像では、未露光のレジストを除去します。硬化では、レジストを硬化させます。フォトマスク検査工程では、作成したマスクの品質を検査します。検査では、マスクのパターンの精度、欠陥の有無などを検査します。マスクのパターンの精度が悪いと、半導体チップのパターンが不正確になります。マスクに欠陥があると、半導体チップに不良が発生する可能性があります。フォトマスク修理工程では、検査で不合格となったマスクを修理します。修理では、マスクのパターンの欠陥を除去したり、マスクの平面度を調整したりします。フォトマスクは、半導体製造装置において非常に重要な役割を果たしています。フォトマスクの品質が悪いと、半導体チップの品質が低下する可能性があります。そのため、フォトマスクの製造工程は、非常に厳密に行われなければなりません。
<マスク製造工程>企業名売上高
(前期比)
営業利益
(営業利益率)
 (フォトマスク作成)(株)ニューフレア・テクノロジー    ※2019年度
                          マスク描画装置
428億円
12.3%
ー億円
ー%
日本電子(株)   ※産業機器事業
                       電子ビーム描画装置
255億円
ー%
233億円
47.1%
 (フォトマスク検査)レーザーテック(株) 
                       EUVマスク検査装置
142億円
24.2%
325億円
36.0%

※専業メーカーでない場合は該当事業のみの数値  出典:各社IR資料より 

ウエハ製造工程 – 半導体装置メーカー (2022年度 決算情報)

半導体製造のウエハ製造工程とは?
シリコンウエハの製造は、精密かつ複雑なプロセスであり、主に次のような工程で構成されています。まず、高純度のシリコンを約1500度で溶解させ、シードクリスタルと接触させて一方向に固化させるCzochralski法(CZ法)でシリコンインゴットを生成します。生成されたインゴットは精密な円筒形状に切削され、その後、ダイヤモンド製のワイヤーソーでウエハに切断されます。これらのウエハは多くの微細な損傷と表面の不均一性を持っているため、CMP(Chemical Mechanical Polishing)と呼ばれるプロセスで化学的および機械的に研磨され、超平坦な面を生成します。最終的には、細菌や塵を取り除くための洗浄工程を経て、ウエハは半導体デバイスの製造に向けて準備されます。
<ウエハ製造工程>企業名売上高
(前期比)
営業利益
(営業利益率)
 (シリコンインゴット研磨) コマツNTC(株)      ※全社
                            ワイヤーソー
428億円
12.3%
トーヨーエイテック(株)  ※全社 2022年度
                            ワイヤーソー
255億円
ー%
 (ウエハ研磨)(株)岡本工作機械製作所   ※半導体製造関連装置
                            ワイヤーソー
142億円
24.2%
不二越機械工業(株)  ※全社
                ラッピング装置・ポリッシング装置
122億円
ー%
スピードファム(株)    ※全社
                ラッピング装置・ポリッシング装置
99億円
ー%

※スピードファムの売上高は「就活会議」より         ※専業メーカーでない場合は該当事業のみの数値  出典:各社IR資料より

前工程 – 半導体製造装置メーカー (2022年度 決算情報)

<前工程>企業名売上高
(前期比)
営業利益
(営業利益率)
 (熱処理炉)(株)ジェイテクトサーモシステム
       裏面電極アニール、ポリイミドキュア等に対応炉
  
 (ウエハ表面の酸化)
 (薄膜成形)(エッチング)
東京エレクトロン(株)   
                  コータデベロッパー・洗浄装置等
21,552億円
10.9%
6,963億円
32.3%
 (ウエハ表面の酸化)
(株)KOKUSAI ELECTRIC 
                            成膜装置等
ー億円
ー%
ー億円
ー%
 (フォトレジスト塗布)(株)SCREENホールディング  
                    コータデベロッパー・洗浄装置
3,709億円
16.2%
769億円
20.7%
 (露光・現像)キヤノン(株) 
                               露光装置
3,292億円
▲2.5%
580億円
17.6%
 (露光・現像)(株)ニコン 
                                               露光装置
2,032億円
▲3.7%
243億円
12.0%
 (レジストリ剥離・洗浄)芝浦メカトロニクス(株)
                 洗浄装置・エッチング装置等
610億円
23.7%
109億円
17.9%
 (イオン注入)日新イオン機器(株)     ※2021年度
                         イオン注入装置
352億円
ー%
ー億円
ー%
 (イオン注入)住友重機械イオンテクノロジー(株)
                         イオン注入装置
約500億円
ー%
ー億円
ー%
 (平坦化)(株)荏原製作所   ※精密・電子セグメント
                          CMP装置等
2,222億円
5.7%
361億円
16.3%
 (電極形成)(株)アルバック
             スパッタリング・CVD・蒸着装置等
678億円
20.0%
ー億円
16.3%
 (ウエハ検査装置)(株)日立ハイテク    ※全社 2021年度
                       エッチング装置等
5,767億円
ー%
586億円
10.2%
 (排ガス処理装置)カンケンテクノ(株)  ※全社 2022年度
                           除害装置
241億円
ー%
ー億円
ー%

※専業メーカーでない場合は該当事業のみの数値  出典:各社IR資料より      ※住友重機械異音テクノロジーの売上は事業説明資料の業績実績(売上高推移および目標)より

後工程 – 半導体製造装置メーカー (2022年度 決算情報)

<後工程>企業名売上高
(前期比)
営業利益
(営業利益率)
 (グラインディング)
 (ダイシング)
(株)ディスコ
                           ダイシングソー
2,841億円
12.0%
1,104億円
38.9%
 (グラインディング)
 (ダイシング)
(株)東京精密   ※半導体製造装置セグメント
                    ダイシング・CMP装置等
1,124億円
11.2%
299億円
26.6%
 (ダイボンディング)ファスフォードテクノロジ(株)  ※2022年度
                      ダイボンディング装置
203億円
ー%
ー億円
ー%
 (ワイヤーボンディング)ー億円
ー%
ー億円
ー%
 (モールディング)TOWA(株)  
                        モールディング装置
538億円
6.2%
100億円
18.6%
 (はんだボールマウンタ)
AIメカテック(株)
                    はんだボールマウント装置
 ーー 
 (ウエハ検査)(株)テセック
                    ウエハ検査・テストシステム
 87億円
16.4%
21億円
24.4% 
 (最終検査)(株)アドバンテスト
                         テスティング装置
5,602億円
34.4%
1,677億円
29.9%

※専業メーカーでない場合は該当事業のみの数値  出典:各社IR資料より 

IRから漏れ伝わるシリーズ

IRから漏れ伝わる事業環境分析|半導体製造装置メーカー:レーザーテック(株)
IRから漏れ伝わる事業環境分析|EUV向け半導体マスクブランクス:HOYA(株)
IRから漏れ伝わる事業環境分析|工作機械メーカー:DMG森精機(株)
IRから漏れ伝わる事業環境分析|産業用ロボットメーカー:(株)安川電機
IRから漏れ伝わる事業環境分析【開示レベルC】|ファナック(株):産業用ロボット・工作機械・放電加工機・射出成形機メーカー
IRから漏れ伝わる事業環境分析【参考レベルC】|(株)ヒラノテクシード:塗工機・化工機メーカー(ロールtoロール)

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 注目企業の事業分析
業界企業名事業内容第1四半期第2四半期第3四半期期末
 半導体製造装置

 レーザーテック(株)半導体マスク欠陥検査装置等製造9月12月3月6月
 ローツェ(株)ウエハ搬送システム、FPD製造装置等5月8月11月2月
 工作機械・産業用ロボット ファナック(株) CNC装置、工作機械、産業用ロボット製造 6月 9月 12月3月