製造業経営コンサルタントの井上です。
今回は、半導体製造装置メーカーの各工程別の決算情報を初めてとして、一覧で把握していきたい。
ツィートをここでも共有していきます。
では見ていきましょう。
半導体製造装置メーカー｜マスク製造工程 （2022年度 決算情報）
半導体製造のフォトマスク製造工程は？半導体製造装置のマスク製造工程は、フォトマスク作成、フォトマスク検査、フォトマスク修理の3つに分けて説明することができます。
フォトマスク作成工程では、半導体チップのパターンを転写するためのマスクを作成します。マスクは、ガラス基板上にレジストを塗布し、レジストを露光、現像、硬化することで作られます。露光では、光をマスクに透過させ、レジストにパターンを写し取ります。現像では、未露光のレジストを除去します。硬化では、レジストを硬化させます。フォトマスク検査工程では、作成したマスクの品質を検査します。検査では、マスクのパターンの精度、欠陥の有無などを検査します。マスクのパターンの精度が悪いと、半導体チップのパターンが不正確になります。マスクに欠陥があると、半導体チップに不良が発生する可能性があります。フォトマスク修理工程では、検査で不合格となったマスクを修理します。修理では、マスクのパターンの欠陥を除去したり、マスクの平面度を調整したりします。フォトマスクは、半導体製造装置において非常に重要な役割を果たしています。フォトマスクの品質が悪いと、半導体チップの品質が低下する可能性があります。そのため、フォトマスクの製造工程は、非常に厳密に行われなければなりません。
| ＜マスク製造工程＞ | 企業名 | 売上高 （前期比） | 営業利益 （営業利益率） |
| （フォトマスク作成） | （株）ニューフレア・テクノロジー ※2019年度 マスク描画装置 | 428億円 12.3% | ー億円 ー％ |
| 日本電子（株） ※産業機器事業 電子ビーム描画装置 | 255億円 ー％ | 233億円 47.1％ | |
| （フォトマスク検査） | レーザーテック（株） EUVマスク検査装置 | 142億円 24.2％ | 325億円 36.0％ |
※専業メーカーでない場合は該当事業のみの数値 出典：各社IR資料より
ウエハ製造工程 – 半導体装置メーカー （2022年度 決算情報）
半導体製造のウエハ製造工程とは？シリコンウエハの製造は、精密かつ複雑なプロセスであり、主に次のような工程で構成されています。まず、高純度のシリコンを約1500度で溶解させ、シードクリスタルと接触させて一方向に固化させるCzochralski法（CZ法）でシリコンインゴットを生成します。生成されたインゴットは精密な円筒形状に切削され、その後、ダイヤモンド製のワイヤーソーでウエハに切断されます。これらのウエハは多くの微細な損傷と表面の不均一性を持っているため、CMP（Chemical Mechanical Polishing）と呼ばれるプロセスで化学的および機械的に研磨され、超平坦な面を生成します。最終的には、細菌や塵を取り除くための洗浄工程を経て、ウエハは半導体デバイスの製造に向けて準備されます。
| ＜ウエハ製造工程＞ | 企業名 | 売上高 （前期比） | 営業利益 （営業利益率） |
| （ｼﾘｺﾝｲﾝｺﾞｯﾄ研磨） | コマツNTC（株） ※全社 ワイヤーソー | 428億円 12.3% | |
| トーヨーエイテック（株） ※全社 2022年度 ワイヤーソー | 255億円 ー％ | ||
| （ウエハ研磨） | （株）岡本工作機械製作所 ※半導体製造関連装置 ワイヤーソー | 142億円 24.2％ | |
| 不二越機械工業（株） ※全社 ラッピング装置・ポリッシング装置 | 122億円 ー％ | ||
| スピードファム（株） ※全社 ラッピング装置・ポリッシング装置 | 99億円 ー％ |
※スピードファムの売上高は「就活会議」より ※専業メーカーでない場合は該当事業のみの数値 出典：各社IR資料より
前工程 – 半導体製造装置メーカー （2022年度 決算情報）
| ＜前工程＞ | 企業名 | 売上高 （前期比） | 営業利益 （営業利益率） |
| （熱処理炉） | （株）ジェイテクトサーモシステム 裏面電極アニール､ポリイミドキュア等に対応炉 | ||
| （ウエハ表面の酸化） （薄膜成形）（ｴｯﾁﾝｸﾞ） | 東京エレクトロン（株） ｺｰﾀﾃﾞﾍﾞﾛｯﾊﾟｰ・洗浄装置等 | 21,552億円 10.9% | 6,963億円 32.3％ |
| （ウエハ表面の酸化） | （株）KOKUSAI ELECTRIC 成膜装置等 | ー億円 ー％ | ー億円 ー％ |
| （フォトレジスト塗布） | （株）SCREENホールディング ｺｰﾀﾃﾞﾍﾞﾛｯﾊﾟｰ・洗浄装置 | 3,709億円 16.2％ | 769億円 20.7％ |
| （露光・現像） | キヤノン（株） 露光装置 | 3,292億円 ▲2.5％ | 580億円 17.6％ |
| （露光・現像） | （株）ニコン 露光装置 | 2,032億円 ▲3.7％ | 243億円 12.0％ |
| （レジストリ剥離・洗浄） | 芝浦メカトロニクス（株） 洗浄装置・エッチング装置等 | 610億円 23.7％ | 109億円 17.9％ |
| （イオン注入） | 日新イオン機器（株） ※2021年度 イオン注入装置 | 352億円 ー％ | ー億円 ー％ |
| （イオン注入） | 住友重機械イオンテクノロジー（株） イオン注入装置 | 約500億円 ー％ | ー億円 ー％ |
| （平坦化） | （株）荏原製作所 ※精密・電子セグメント CMP装置等 | 2,222億円 5.7％ | 361億円 16.3％ |
| （電極形成） | （株）アルバック スパッタリング・CVD・蒸着装置等 | 678億円 20.0％ | ー億円 16.3％ |
| （ウエハ検査装置） | （株）日立ハイテク ※全社 2021年度 エッチング装置等 | 5,767億円 ー％ | 586億円 10.2％ |
| （排ガス処理装置） | カンケンテクノ（株） ※全社 2022年度 除害装置 | 241億円 ー％ | ー億円 ー％ |
※専業メーカーでない場合は該当事業のみの数値 出典：各社IR資料より ※住友重機械異音テクノロジーの売上は事業説明資料の業績実績（売上高推移および目標）より
後工程 – 半導体製造装置メーカー （2022年度 決算情報）
| ＜後工程＞ | 企業名 | 売上高 （前期比） | 営業利益 （営業利益率） |
| （グラインディング） （ダイシング） | （株）ディスコ ダイシングソー | 2,841億円 12.0% | 1,104億円 38.9％ |
| （グラインディング） （ダイシング） | （株）東京精密 ※半導体製造装置セグメント ダイシング・CMP装置等 | 1,124億円 11.2％ | 299億円 26.6％ |
| （ダイボンディング） | ファスフォードテクノロジ（株） ※2022年度 ダイボンディング装置 | 203億円 ー％ | ー億円 ー％ |
| （ワイヤーボンディング） | ー | ー億円 ー％ | ー億円 ー％ |
| （モールディング） | TOWA（株） モールディング装置 | 538億円 6.2％ | 100億円 18.6％ |
| （はんだボールマウンタ） | AIメカテック（株） はんだボールマウント装置 | ー | ー |
| （ウエハ検査） | （株）テセック ウエハ検査・テストシステム | 87億円 16.4% | 21億円 24.4% |
| （最終検査） | （株）アドバンテスト テスティング装置 | 5,602億円 34.4％ | 1,677億円 29.9％ |
※専業メーカーでない場合は該当事業のみの数値 出典：各社IR資料より
IRから漏れ伝わるシリーズ
※なお、本ブログは、本ブログ作成者が細心の注意を払い判断した出所からの情報に基づき作成されています。ただし、本ブログの記載内容が真実かつ正確であり、重要な事項の記載が欠けていないことを保証するものではありません。
| 注目企業の事業分析 | ||||||
| 業界 | 企業名 | 事業内容 | 第1四半期 | 第2四半期 | 第3四半期 | 期末 |
| 半導体製造装置 | レーザーテック（株） | 半導体マスク欠陥検査装置等製造 | 9月 | 12月 | 3月 | 6月 |
| ローツェ（株） | ウエハ搬送システム、FPD製造装置等 | 5月 | 8月 | 11月 | 2月 | |
| 工作機械・産業用ロボット | ファナック（株） | CNC装置、工作機械、産業用ロボット製造 | 6月 | 9月 | 12月 | 3月 |
